Используется для травления кремния в полупроводниковой промышленности, для прозрачного травления силикатного стекла, составе травильных, травильно-полировальных смесей, в качестве растворов растворов для электрохимической обработки нержавеющей стали и специальных сплавов. Для растворения силикатов при различного рода анализах. Для получения фторидов, фторорганических соединений, а также соответствующих кислот, синтетических смазочных масел и пластмасс.